靜電是在介電材料表面產生的電荷。 當帶正電和帶負電的物體相互接觸或靠近時,便會釋放出靜電。 這種現象稱為靜電放電(ESD:Electro Static Discharge)。 當帶電的人體接觸電子設備時,產生的ESD可以達到數千伏特的量級。
當兩個不同的物體互相摩擦或物體緊密接觸後又分離時(例如,當剝離食品保鮮膜時),電子可能會從一個物體移動到另一個物體。 因為由於不同物質的原子核對核外電子的束縛能力不同,有些物質傾向於失去電子帶正電,而有些物質傾向於接收電子帶負電。 根據物質對電子的束縛能力強弱的排列清單稱為靜電序列。 在靜電序列中相隔較遠的兩種物體相接觸所產生的接觸電位差較大。 任何物體都是由原子組成的,而原子則由帶正電的原子核和帶負電的電子所組成。 原子在通常情況下,由於原子核的正電荷跟核外電子總共帶的負電荷數量相等,故整個原子呈中性,對外不顯電性,所以整個物體是中性的。 然而,摩擦會使電子從一個物體移動到另一個物體,造成正負電荷的不平衡。 圖1. 靜電序列
為實現電子產品的高性能化和小型化,半導體製造商不斷開發具有越來越小的幾何形狀的新製程。 關於實現小型化的縮放比例定律(scaling rule),該法律規定若晶體管的尺寸縮放為1 / k,則其面積減小為1 / k2,消費電流減小為1 / k,且電路延遲減小 到1 / k。 根據此縮放比例定律,則可實現電子產品的小型化,低耗電化和高速化。 但是,當寬度和長度縮放到1 / k時,厚度通常也會按比例縮放。 這意味著用於半導體裝置製造的絕緣膜的厚度也減小到1 / k。 二氧化矽(SiO2)通常用作矽半導體裝置的絕緣體。 SiO2的介電強度為8~10 MV / cm,每公分恆定。 因此,當絕緣膜的厚度減小到1 / k時,其介電強度也會減少到1 / k。 上述半導體的縮小製程是導致半導體裝置更容易受到ESD影響的因素之一。 不僅是半導體,隨著應用於電子產品中電子裝置的小型化和高性能化進步,也將導致其更容易受到ESD事件的影響。 此外,人們使用電子產品的方式已經發生了很大變化。 由於二十年前使用的電子產品由於大多都是在家中使用的固定設備,因此很少重新連接電纜。 但是,隨著筆記型電腦和手機的普及,產品被頻繁連接到USB和LAN電纜用來充電和數據通訊。 如前所述,當兩個不同物體彼此接觸或靠近時均需要採用ESD保護對策。 因此ESD保護對策被更廣泛的使用。 隨著ESD抗擾性的降低和ESD衝擊次數的增加,導致電子產品性能下降和產品性能受損的風險增加。 因此,使用ESD保護元件現在變得越來越重要。
ESD和突波測試大致分為設備級測試和系統級測試。 4.1. 設備級測試 此測試在ESD控制的工廠等生產現場進行,以確認設備本身沒有被ESD脈衝造成劣化或損壞。 ESD有三種主要型號: ① 人體模型(Human Body Model:HBM):模擬從帶靜電人員觸摸設備時發生的放電 ② 機器模型(Machine Model:MM):模擬從製造系統等帶電機器釋放的放電 ③ 帶電設備模型(Charged Device Model: CDM):模擬對在組裝過程中帶電電隔離設備接觸接地電路板時發生的放電 圖3. 人體模型(HBM) 圖4. 機器模型(MM)
4.2. 系統級測試 此測試目的是確保電子系統在日常環境中不會被ESD降解或破壞。 1. IEC 61000-4-2(ESD抗擾度測試:人體模型) 與HBM一樣,該測試模擬了可能從帶靜電的人體造成的放電。 ESD測試有以下兩種方法: 接觸放電:測試人體直接觸摸系統或設備的裸露金屬表面時可能發生的放電。 空氣放電:測試當系統或設備的表面塗有樹脂或其他塗層材料時,被測設備(DUT)與放電槍之間會通過空氣層發生的放電。 這些ESD測試由國際電工委員會(The International Electrotechnical Commission:IEC)IEC 61000-4-2規定。 東芝的ESD保護(TVS)二極體也使用接觸放電法和空氣放電法進行了測試。 2. IEC 61000-4-5測試(浪湧抗擾度測試:雷擊耐受測試) 浪湧抗擾度測試也稱為雷雷擊耐受測試,它模擬了附近雷擊引起的電壓和電流湧。 此測試還包括瞬態切換現象,例如電源開關打開時可能發生的急劇負載變化或短路。 就所施加的突波電流的水平和週期而言,IEC 61000-4-5測試是最嚴格的系統級突波抗擾性測試。
東芝擁有一系列的ESD保護零件
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