如何做接触孔? 制作接触孔(芯片表面上有一层氧化层,在需要做接触孔的地方腐蚀掉氧化物) 接触孔。现在需要把器件连接在一起,用厚场氧化物覆盖芯片,刻蚀接触孔处的氧化物。 如何做金属层? 金属层的制造(向wafer晶片涂上铝,定型后,然后去掉多余的金属): 金属层,在整个晶圆上溅射Al,除去多余的金属,留下连线。 |
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