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反相器的制造过程

2014-4-13 21:37| 发布者: lfcx| 查看: 52| 评论: 0

摘要: 反相器的制造过程 如何做N阱?制造步骤:从空的晶圆开始,由底向上制作反相器,第一步将形成N阱: 用SiO2保护层覆盖晶圆; 除去N阱需要制作的地方的保护层; 掺杂或扩散N型杂质到暴露的晶圆上; 去掉SiO2。 ①用氧 ...


    如何做接触孔?

    制作接触孔(芯片表面上有一层氧化层,在需要做接触孔的地方腐蚀掉氧化物)

    接触孔。现在需要把器件连接在一起,用厚场氧化物覆盖芯片,刻蚀接触孔处的氧化物。

    

    如何做金属层?

    金属层的制造(向wafer晶片涂上铝,定型后,然后去掉多余的金属):

    金属层,在整个晶圆上溅射Al,除去多余的金属,留下连线。

    

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