反相器的制造过程

2014-4-13 21:37| 发布者: lfcx| 查看: 51| 评论: 0

摘要: 反相器的制造过程如何做N阱？制造步骤：从空的晶圆开始，由底向上制作反相器，第一步将形成N阱：用SiO2保护层覆盖晶圆；除去N阱需要制作的地方的保护层；掺杂或扩散N型杂质到暴露的晶圆上；去掉SiO2。 ①用氧 ...

如何做PMOS管源、漏级？

对要做pMOS管源、漏级，P衬底接触孔的地方进行高浓度P型物质掺杂P扩散：

相似的步骤可以形成pMOS源漏衬接触的p+扩散区。

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