反相器的制造过程

    ⑤剥去光刻胶

    剥掉其他部分的光刻胶。

    ⑥制作N阱

    N阱通过扩散或者离子注入形成扩散：

    把晶圆放在砷气的熔炉中；

    加热直到As原子扩散到暴露的Si中离子注入；

    利用As离子束冲击晶圆；

    离子被SiO2阻止，仅进入暴露的硅。