②整个晶片涂上光刻胶 光刻胶是光敏感有机聚合物将整个晶片图上光刻胶,暴露在光线中的部分融化。 ③光刻 光刻:平版印刷,并在做N阱的位置用N阱掩模(mask)曝光光刻胶,然后去掉被曝光的光刻胶。 ④刻蚀 用氢氟酸蚀刻N阱位置的氧化物。 |
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