反相器的制造过程

    如何做N阱？

    制造步骤：

    从空的晶圆开始，由底向上制作反相器，第一步将形成N阱：

    用SiO2保护层覆盖晶圆；

    除去N阱需要制作的地方的保护层；

    掺杂或扩散N型杂质到暴露的晶圆上；

    去掉SiO2。

    ①用氧化炉氧化整个晶片

    氧化：在Si晶圆上面生长SiO2，利用H2O或O2在900~1200 0C的熔炉中氧化。