有源器件二极管及版图

    埋层齐纳二极管：如果雪崩区位于氧化层下几个微米的位置，热载流子就会散射出晶格，并在能够到达氧化层界面之前失去能量。在表面下发生雪崩的齐纳二极管称为埋层齐纳二极管。

图 隔离区内发射区齐纳二极管的版图和剖面图

    特殊的埋层齐纳二极管需要在隔离扩散后和基区扩散前插入深P+扩散。

图 使用特殊的深P＋扩散区结合发射区形成的埋层齐纳二极管