《超大规模集成电路工艺学》

近年来美国电子工业发展很快，工厂的销额为六十年代初期的十倍(见图1，曲线(a)[11,[2),电子产品销售额在1981年为1140亿美元，预计平均年增长率为15%,到1990年将达4000亿美元，而集成电路(IC)的市场增长率又高于电子工业(见图1，曲线(b))。在美国集成电路销售额1981年为66亿美元，预计年增长率为25%,到1990年将达500亿美元。这种市场增长的动力来自电子产品的大量普及和果成电路工艺技术的不断突破。电子工业的世界市场(约为美国的两倍)将以差不多的速率增长。十年内，它将与汽车，化学和钢铁工业的销售额相匹敌.